对外转化科技效果（七）：大口径石英晶体生长工业化项目

泉源：宣布时间：2024-04-16

石英晶体具有优异的频率-温度稳固性和光学透过率，，，，，，，，应用于以SMD3225型、2520型为主流型号的晶振元件，，，，，，，，以及高端光学元件，，，，，，，，批量供应以晶振元件研发为主的学校、院所和企业，，，，，，，，年产量5-8吨，，，，，，，，占海内晶振市场1%左右份额。。。。。。

海内可用于新一代小型高频晶振元件（2016型、1210型及以下型号）、温补晶振、车规晶振等的高品质石英晶体仍未工程化，，，，，，，，现有用于主流晶振型号3225型的石英晶体也有一半从俄罗斯入口，，，，，，，，石英晶体市场缺口较大，，，，，，，，应用远景较好。。。。。。手艺效果转化以后，，，，，，，，预期年产能可抵达800吨，，，，，，，，占全球市场的30%，，，，，，，，晶体年产品收入4亿元，，，，，，，，利润1亿元，，，，，，，，服务终端300亿晶振元件市场。。。。。。

针对现有人造石英晶体难以知足下游市场对高品质、高稳固、低成实质料的需求问题，，，，，，，，提出了一种大口径水热法制备人造石英晶体手艺计划，，，，，，，，以及低侵蚀隧道密度籽晶制备、高纯度石英晶体水热工艺、熔岩储能保温装置等手艺计划，，，，，，，，制备高品质人造石英晶体，，，，，，，，可知足小型、高频、高精的晶振元件QMEMS工艺制造。。。。。。主要手艺已实现在Ф250mm高压釜上获得工程化验证，，，，，，，，手艺处于海内领先、海内先进水平。。。。。。

（一）主要手艺立异点

1. 大口径高压釜水热工艺。。。。。。

海内用于人造石英晶体生长的高压釜口径均在Ф380mm以内，，，，，，，，单釜产量低、生产本钱高，，，，，，，，无法与占海内市场50%的俄产石英晶体形成竞争。。。。。。由于釜体口径小，，，，，，，，受电压、情形转变等因素的滋扰影响大，，，，，，，，不适合低侵蚀隧道密度、高Q值人造石英晶体的生长，，，，，，，，无法知足温补晶振、压控晶振以及小微型QMEMS工艺晶片需求，，，，，，，，该类产品由日本垄断，，，，，，，，造成海内石英晶体工业链的手艺短板。。。。。。

大口径高压釜便于实现内部优异的对流情形和越发稳固的温场，，，，，，，，抗外部情形滋扰能力大大增强，，，，，，，，单位能耗更低，，，，，，，，生产效率更高，，，，，，，，批量一致性更好，，，，，，，，更有利于适用于QMEMS光刻工艺的大尺寸、低侵蚀隧道密度石英晶体工业化。。。。。。

已申报发明专利1项，，，，，，，，授权适用新型专利1项。。。。。。

2. 熔岩储能系统。。。。。。

稳固的温场和精准控温有利于高品质人造石英晶体的生长。。。。。。现在石英晶体的温场主要由电阻直接加热控制，，，，，，，，在较长的石英晶体生长周期内，，，，，，，，电压转变、加热件的损坏直接造成温度波动，，，，，，，，影响晶体质量匀称性，，，，，，，，导致下游元件制造调试本钱高。。。。。。元件企业更热衷直接采购日产石英晶片，，，，，，，，限制了海内晶体企业的手艺前进。。。。。。

熔岩储能装置替换电阻直接加热，，，，，，，，可实现恒温控温精度高，，，，，，，，温场更稳固；；；；；；；；实现结构性节能，，，，，，，，降低碳排放；；；；；；；；降低用电本钱，，，，，，，，增添物理空间可选择性；；；；；；；；对电质量不敏感，，，，，，，，有利于提高晶体品质。。。。。。

（二）手艺优势

手艺效果转化后，，，，，，，，单釜产能可提高10倍以上（与海内主流Ф300mm口径高压釜比照）；；；；；；；；单位本钱降低24.02%；；；；；；；；单位能耗降低44.75%；；；；；；；；谷电替换尖、峰电，，，，，，，，实现结构性节能。。。。。。

手艺效果转化后，，，，，，，，产品的一致性大幅提高，，，，，，，，与俄产石英一致性持平；；；；；；；；有利于低侵蚀隧道密度、高Q值石英晶体的生长，，，，，，，，可靠近或抵达日产石英品质（日产石英侵蚀遂道密度在3条/cm²以内。。。。。。

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