项目名称:高马赫数航行用CVDZnS红外窗口的制备手艺
完成单位:北京中材人工晶体研究院有限公司
主要科技内容与立异点:
外洋通常接纳H2S模式的CVD制备手艺,,,,,,,,其装备重大并且腾贵,,,,,,,,且使用有毒易燃H2S气体,,,,,,,,环保性差。。。。。。我院通过多年的自主研究,,,,,,,,接纳以高纯硫为质料的S模式化学气相沉积(CVD)法乐成的制备出大尺寸的CVDZnS板材和头罩。。。。。。与外洋手艺相较量,,,,,,,,S模式的CVD制备手艺具有制备本钱低,,,,,,,,污染小等特点。。。。。。
立异点:
1.自行设计设计CVDZnS沉积装备,,,,,,,,具有完全的自主知识产权,,,,,,,,在海内率先接纳单质S固相化学气相沉积法制备ZnS。。。。。。
2.S模式的CVD要领,,,,,,,,接纳高纯硫生长CVDZnS,,,,,,,,S模式的CVD要领阻止了在制备历程中直接使用剧毒H2S气体。。。。。。
3.通过S模式生长出来的CVDZnS,,,,,,,,在红外波段无吸收峰,,,,,,,,透过率靠近理论指标,,,,,,,,光学性能优异,,,,,,,,可作为红外中长波透过质料。。。。。。
4.率先接纳S模式化学气相沉积法制备出抗高马赫数航行用CVDZnS质料,,,,,,,,使用温度由外洋同类产品的不到200℃提升至400℃以上,,,,,,,,大大提高所用导弹的航行速率。。。。。。
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